Setra 217 型壓力變送器專為模塊式“Block”氣體棒和面板設計,非常適合惡劣環境(例如冷氣流導致的溫度瞬變)下的壓力測量應用。
217 型壓力變送器可選帶C 型或W 型密封的朝下安裝的壓力端口,帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至5 Ra( 最大7 Ra),確保表面平整且耐化學腐蝕,實現無污染氣體輸送。每個傳感器都采用質譜儀進行了1 x 10-9 ATM.CC/sec 級別的氦滲漏試驗。
Setra 所有的超高純系列產品都基于Setra 成熟的電容傳感技術制造,能提供幾乎不受EMI/RFI 干擾的高精度、穩定的電壓或電流輸出信號。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·出色的穩定性,避免停機
·可選帶C 型或W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾/ 射頻干擾,可防止誤停機
·易于吹掃
·符合CE 和RoHS 標準要求
應用
·模塊式“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統
·半導體過程工具
性能參數
物理參數
精度RSS(恒溫下)
±0.25%FS或±1.0%讀數
殼體
不銹鋼
非線性(最佳擬合直線)
±0.15%FS
電氣連接
6英尺多芯電纜、卡口或D-SUB接頭
遲滯
0.20%FS
壓力接口
朝下安裝的C型或W型密封
非重復性
0.02%FS
通氣
零點盒滿量程處的檢修孔
電氣參數(電流)
重量
約184g
電路
2線
電氣參數(電壓)
輸出6
4~20mA2
電路
3線(COM,OUT,EXC)
外部負載
0~800Ω
輸出4
0~5VDC或0.2~5.2VDC5
0~10VDC或0.2~10.2VDC5
最小供電電壓(VDC)
10+0.02x(接收器附加導線電阻)
激勵
5VFSO(滿量程輸出)時為10~30VDC
10VFSO(滿量程輸出)時為13~30VDC
最大供電電壓(VDC)
30+0.004X(接收器附加導線電阻)
電流消耗
<8mA
溫度影響2
環境參數
壓力介質
溫度補償范圍
-9~65℃
工作溫度3
-40℃~+85℃
與316L不銹鋼兼容的氣體或液體的
零點/滿程漂移
1.8%(%FS/50℃)
存放溫度
-40℃~+85℃
1. 非線性、遲滯、非重復性的方和根
2. 產品在21℃進行標定,最大溫度影響誤差由此數據得來
3. 僅限電子元件的工作溫度限制,壓力介質的溫度可能明顯較高或較低
4. 采用50KΩ負載進行標定,可在負載≥5K時工作
5. 零點(滿量程)輸出:對于5VDC輸出,出廠設置在±25mA以內;對于10VDC輸出,出廠設置在±50mV以內
6. 出廠標定時采用250Ω負載,負載24VDC電源
零點(滿量程)輸出:出廠設置在±0.08mA以內