Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計(亦稱電容式膜片真空計 (CDG)),適合在光伏、半導體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達±0.5%,分辨率高,優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計,它能精確測量介質(zhì),不受應用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應元件,適用于苛刻的半導體和工業(yè)真空應用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點,使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設(shè)計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料, 因此對半導體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。
Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu), 確保730型在這類應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同,730型測量直接壓力, 不受被測混合氣的影響,這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。
應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
規(guī)格
性能參數(shù) |
物理參數(shù) |
電氣參數(shù)(電壓) |
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精度1 |
±0.5%讀數(shù) ±0.25%讀數(shù)(可選) |
壓力接口 |
參見訂購信息 |
激勵輸出4 |
12-30VDC/0-10VDC 9-30VDC/0-5VDC |
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響應時間 |
﹤20MS |
接液材料 |
Lnconel@ |
電流消耗 |
﹤10mA(最大值) |
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分辨率 |
無限,僅受輸出噪聲的 限制(≤0.005%FS) |
電氣連接 |
5針螺釘端子、9針D-Sub或15 針D-Sub接頭(位于6*尾纖上) |
輸出負載 |
﹥10KΩ |
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溫度影響2 |
殼體 |
不銹鋼 |
輸出阻抗 |
﹤1Ω |
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補償范圍 |
0~+50℃ |
腔室體積 |
﹤6.0cc |
電路 |
3線制 |
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零點漂移 |
0.25%FS/50℃ |
重量(近似值) |
﹤250g |
壓力介質(zhì) |
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量程漂移 |
1.35%讀數(shù)/50℃ |
環(huán)境參數(shù) |
與lnoonel@兼容的氣體或液體。lnoonel@接液材料僅適用于0.5*管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼。 |
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長期溫度性3 |
0.5%FS/1年,不受環(huán)境條件影響 |
溫度 |
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工作溫度 |
0至+80℃ |
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認證 |
1.包括非線性、非重復性盒遲滯 3.在80℃下運行時,滿量程范圍小于100Torr 2.產(chǎn)品在66℉進行標定,最大溫 時為±1.0%FS/年 度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來 4.采用50KΩ負載進行標定。可在負載≥5KΩ時工作 |
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CE.RoHS |