GFC質(zhì)量流量控制器帶有內(nèi)置式電磁閥，無論入口或出口壓力如何變化，都能保持穩(wěn)定的流速。設(shè)定值可通過電位器（通過殼體上的窗口可調(diào)整該電位器）本地控制，或者可以通過0-5 Vdc或4-20 mA（現(xiàn)場可選）模擬信號遠(yuǎn)程控制。

精度： 滿量程的±1%，包括在15 ~ 25°C (59 ~ 77°F)以及0.7 ~ 4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)范圍內(nèi)的線性度；對于流量 =100 SLM的控制器，在0 ~ 20%量程范圍內(nèi)精度為滿量程的±3%
重復(fù)性： 滿量程的±0.5%
溫度系數(shù)： 滿量程的0.15%/°C
壓力系數(shù)： 每psi (0.07 bar)為滿量程的0.01%
最大壓降： 50 psid
響應(yīng)時間：在滿量程的25 ~ 100%范圍大約5秒達(dá)到設(shè)定流速的±2%內(nèi)
最大氣體壓力： 70 kg/cm2表壓(1000 psig); 1.76 kg/cm2 (25 psig)最適宜
氣體和環(huán)境溫度： 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F)
泄漏完整性： 對于外界環(huán)境，最大泄漏為1 x 10-7 cc/sec氦氣
接液材質(zhì)：
    鋁質(zhì)型號： 陽極氧化鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠O形圈
    不銹鋼型號： 316不銹鋼和氟橡膠O形圈
輸出信號：
    線性0 ~ 5 Vdc： 最小負(fù)載1000 V
    4 ~ 20 mA： 環(huán)路電阻為50 ~ 500 V，最大噪聲±20 mV
傳感器電源： 12 Vdc @ 800 mA
（標(biāo)配）; 24 Vdc @ 650 mA（可選）
量程比： 50:1
運輸重量： 1.8 kg (4 lb)
順從標(biāo)準(zhǔn)： EN55011 1類，B類；EN50082-1