測量技術
注入方式 以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。 1. 測量液體源的流量,并通過閥門反饋和控制液體量。 2. 液體瞬間汽化。 3. 氣體被釋放,防止凝結成液態。
由于載氣在注入器內部噴嘴前的壓力較高,因此可以獲得有效加熱。液體源和加熱的載氣在噴嘴前的氣液混合區混合在一起,當混合物通過噴嘴時,壓力降低,混合物進而汽化。
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