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TCP系列流量計

TCP系列流量計

所屬分類:費爾頓FELTON
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費爾頓(FELTON)TCP系列流量計是一種用于半導體行業的氣體質量流量控制器,具有高精度和高可靠性,能夠滿足半導體制造過程中對氣體流量的嚴格控制要求

產品特點

  1. 高精度控制:TCP系列流量計的控制精度為±0.2%設定值(Q≤20%滿量程);±1%滿量程(Q>20%滿量程),能夠實現高精度的流量測量和控制
  2. 多種通訊方式:支持RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT等多種數字通訊方式,同時兼容0-5V DC或4-20mA的模擬信號
  3. 快速響應:響應時間小于1秒,適合對實時性要求較高的應用場景
  4. 工作壓力范圍:工作壓差范圍為0.05-0.5MPa,最大工作壓力可達0.6MPa

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