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TCP系列流量計

TCP系列流量計

所屬分類：費爾頓FELTON
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費爾頓（FELTON）TCP系列流量計是一種用于半導體行業的氣體質量流量控制器，具有高精度和高可靠性，能夠滿足半導體制造過程中對氣體流量的嚴格控制要求。

產品特點

  1. 高精度控制：TCP系列流量計的控制精度為±0.2%設定值（Q≤20%滿量程）；±1%滿量程（Q>20%滿量程），能夠實現高精度的流量測量和控制。
  2. 多種通訊方式：支持RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT等多種數字通訊方式，同時兼容0-5V DC或4-20mA的模擬信號。
  3. 快速響應：響應時間小于1秒，適合對實時性要求較高的應用場景。

  4. 工作壓力范圍：工作壓差范圍為0.05-0.5MPa，最大工作壓力可達0.6MPa

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