費爾頓(FELTON)TCP系列流量計是一種用于半導體行業的氣體質量流量控制器,具有高精度和高可靠性,能夠滿足半導體制造過程中對氣體流量的嚴格控制要求。
產品特點
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高精度控制:TCP系列流量計的控制精度為±0.2%設定值(Q≤20%滿量程);±1%滿量程(Q>20%滿量程),能夠實現高精度的流量測量和控制。
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多種通訊方式:支持RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT等多種數字通訊方式,同時兼容0-5V DC或4-20mA的模擬信號。
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快速響應:響應時間小于1秒,適合對實時性要求較高的應用場景。
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工作壓力范圍:工作壓差范圍為0.05-0.5MPa,最大工作壓力可達0.6MPa
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