HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器

HORIBA SEC-N100提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有氣體質(zhì)量流量控制器都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇最適合的類型。HORIBA可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣HORIBA也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet? (*1), 以及PROFIBUS?(*2) (取決于產(chǎn)品型號)。HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一種通訊方式的標志。
*2 PROFIBUS是一種國際化的通訊方式標志。

HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器

HORIBA SEC-N100系列適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應用。HORIBA SEC-N100可實現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *包括SEC-N177R），快速響應。同時SEC-N100這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。

HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器特征
大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多種通訊方式及電源供給

HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器SEC-N100

SEC-N100 系列高精度
■高精度（設定點為基準）MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現(xiàn)了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高，各種工藝氣體的校準數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統(tǒng)進行校驗。

整個流量控制范圍內(nèi)都可實現(xiàn)高響應速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response新的可變PID運算法則：1秒高速響應SEC-N100 系列搭載了新開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”，對于所有設置點它可以實現(xiàn)1秒內(nèi)的響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據(jù)當下的設定點不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。              

多氣體、多量程的解決方案
■專用的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。

致力于成本考量，運用新的設計概念
作為N100系列的替代，HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門的Z500系列產(chǎn)品。請注意，在沒有通知的情況下，可能會對某些需要提高生產(chǎn)率的部件和產(chǎn)品工藝做出修改，但不會牽涉到改變產(chǎn)品的規(guī)格。

HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器選型表下載（pdf文檔）

/upload/201806/07/201806072053025441.pdf

HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹：（英文版）

/upload/201806/07/201806072053511701.pdf

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