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HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器基于多年來引領尖端技術產(chǎn)品的市場發(fā)展經(jīng)驗，提供的一系列滿足客戶需求的質(zhì)量流量計產(chǎn)品。
HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器被廣泛地運用于各種工業(yè)領域，從太陽能電池、燃料電池的研究和制造，到半導體、液晶面板和電子行業(yè)中使用的發(fā)光二極管（LED）的研究和制造。在這些制造工藝中，對各種氣體的流量進行準確的測量和控制，顯著地提高了工作效率，進而節(jié)約了能源和提高了生產(chǎn)力。HORIBA STEC致力于質(zhì)量流量計的發(fā)展，為制造工藝，包括半導體、光電和LED的制造提供服務，并將繼續(xù)開發(fā)新的產(chǎn)品來滿足客戶的需求。
HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
工業(yè)爐、熱處理爐用可燃燒氣體控制
針焊用可燃燒氣體控制
氫氣 、氧氣、丙烷、氬氣等為首的各種可燃燒氣體的流量控制
清洗氣體的流量控制
實驗裝置上的氣體流量控制
要求需要自動化的流量控制設備
希望把握所消耗流量總量的設備等
| 適用氣體種類*1 | N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 | N2、O2、Air、H2 | ||
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼 | |||
| 閥門型號 | 非通電時 關閉 | |||
| 標準流量量程 (N2相應F.S.) | 50/100 SLM | 200 SLM | 300/500 SLM | |
| 流量控制范圍 (適于SEC系列) | 5?100% F.S. | |||
| 流量測量范圍 (適于SEF系列) | 0?100% F.S. | |||
| 響應速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ±2% F.S. | ||
| 直線性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 反復性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 工作差壓值值(適于SEC系列) | 100?300kPa(d) | 200?350kPa(d) | ||
| 使用壓力 (適于SEF系列) | 350kPa(G)以下 | |||
| 耐 壓 | 1MPa(G)以下 | |||
| 外部泄漏率 | 1×10-7Pa?m3/s(He)以下 | 450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi) | ||
| 使用環(huán)境溫度 | 5?45℃(精度的確保：15?35℃) | |||
| 流量設定信號 | 0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S. | |||
| 流量輸出信號 | 0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ) | |||
| 驅(qū)動電源 | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |||
| 標準接頭*2 | 3/8SWL 類型 | 1/2SWL 類型 | ||
*1:關于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。
HORIBA STEC SEC-Z500X質(zhì)量流量控制器
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STEC SEC-E40MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質(zhì)量流量計/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-N100數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應用質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應用質(zhì)量流量控制器
HORIBA 公司成立于1945年，總部設于日本京都，最初產(chǎn)品為pH計。HORIBA于1950年開發(fā)成功了日本第一臺玻璃電極pH計， 1971年3月公司成為上市公司，1982年進入東京和大阪股票交易所一版，至2000年底，公司資產(chǎn)總值已達910億日圓，年銷售額710億日圓，員工總數(shù)達3000多人?，F(xiàn)已與全國多家企業(yè)及科研機構建立了良好的合作關系。HORIBA的年對華貿(mào)易額已達4億5千萬日圓。
現(xiàn)在HORIBA已經(jīng)發(fā)展成為擁有37個成員公司的企業(yè)集團-HORIBA GROUP，并在工業(yè)化國家均設有常駐機構。作為世界上分析與檢測設備制造商，HORIBA在半導體、醫(yī)療、汽車行業(yè)、自然科學及環(huán)境保護等領域為世界各地的客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品。 HORIBA公司分別于1993年和1996年獲得了ISO9001和ISO14001的認證。
HORIBA STEC SEC-Z500X質(zhì)量流量控制器
HORIBA SEC-N100氣體流量控制器：http://www.028ssww.com/news/show-279.html 型號SEC- (質(zhì)量流量控制器)E60E70E80SEF- (質(zhì)量流量計)E60E70E80
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